磷化铟清洗机,磷化铟单片清洗甩干机,磷化铟衬底清洗机,磷化铟双面清洗甩干机
2026-09-15 09:00 57389307 121.24.124.79 8次
- 发布企业
- 河北中科微电子有限公司
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- 磷化铟清洗机,磷化铟双面清洗甩干机,磷化铟衬底清洗机,磷化铟单片清洗甩干机,单片清洗机
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详细介绍
1、设备概况
1.1应用领域：半自动单片清洗机是高洁净度清洗设备, 具有药液清洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。其主要用于兼容2-6寸磷化铟晶圆半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：半自动单片清洗机
1.3型号：SQX-150-5Y1D
2、主要结构特征
半自动单片清洗机主要伺服电机，供药系统，PLC控制器，高洁净阀门，PFA管等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟5-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
3、主要技术参数
项目 | 主要性能指标和参数 |
加工尺寸 | 兼容2、3、4、6寸晶圆 |
单次甩干数量 | 1片 |
工位数量（个） | 1 |
机台上下片方式 | 手动上下片 |
旋转速度 RPM/MIN | 5-5000rpm可设定 |
清洗方式 | 药液清洗/兆声清洗/纯水清洗 |
药液数量 | 5种 |
药液喷嘴 | 上下两面 独立供液 |
药液槽 | 5个 10L PVDF药液槽 |
适用药液类型 | 冷、热、SC1、酒精、酸性药液 |
药液加热 | 1种（热） |
供药方式 | 压控法 |
出药口大小 | 正面5路
|
药液流量调节 | 10路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
药液流量监控 | 4路（正药液4路，背药液4路） |
DIW水冲洗 | 2路 |
DI水流量调节 | 2路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
DI水出口大小 | 2路 正背面外径4mm内径2mm
|
水流量监控 | 2路（正水1路，背水1路） ） |
兆声水冲洗 | 1路 |
兆生水流量调节 | 1路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
清洗甩干时间 | 2-5min |
氮气压力 | 0.15Mpa，氮气管接口1/4英寸 |
纯水压力 | 0.15Mpa， 管接口1/4mm |
排水管 | 2路φ19mm（水 药液） |
排风管 | 两路110mm/75mm |
显示/控制系统 | 7寸触摸屏+PLC可编程控制器 |
管路材料 | PFA |
电源 | 220V |
整机功率 | 5KW |
外型尺寸（深*宽*高）mm | 长660mm*宽760mm*高1332mm
|
| 法定代表人 | 黄桥 |
| 注册资本 | 300 |
| 主营产品 单晶炉,多晶炉,区熔炉,SEMITOOL甩干机,晶片检测强光灯 | |
| 经营范围 一般项目：半导体器件专用设备制造；集成电路制造；光伏设备及元器件制造；工业自动控制系统装置制造；电子元器件制造；电子测量仪器制造；机械电气设备制造；五金产品制造；塑料制品制造；集成电路芯片及产品销售；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；工业控制计算机及系统销售；电子专用设备销售；电力电子元器件销售；工业设计服务；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口；进出口代理；五金产品研发；专用设备修理；工业机器人安装、维修。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | |
| 公司简介 河北中科微电子有限公司是一家高科技港资公司，集半导体及芯片、微电子、新材料高端工艺设备的研发、生产、销售于一体，为中国芯片制造公司及各电子科技研究所提供交钥匙工程以及整体生产线改造升级解决方案。公司与美国、新加坡、韩国和日本等公司合作，在国外设有库房，囤有大量的半导体、微电子、新材料等行业专用设备及配件。公司汇聚了众多相关行业、领域的管理和技术人才，具有自主研发、设计和制造高端工艺设备的能力。长期 ... | |
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