单片甩干机 单片双面吹气甩干机 EFEM集成甩干机 EFEM模组甩干机 EFEM甩干机 12寸甩干机
2026-09-14 18:26 57387366 121.24.124.79 13次
- 发布企业
- 河北中科微电子有限公司
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第4年主体名称：河北中科微电子有限公司组织机构代码：91130400MAC38BJC4W
- 报价
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- 品牌
- ZKM
- 型号
- 12寸
- 关键词
- 单片甩干机,EFEM甩干机,单片双面吹气甩干机,EFEM集成甩干机,EFEM模组甩干机
- 所在地
- 河北省邯郸市复兴区河北省邯郸市复兴区邯兴路399号（注册地址）
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详细介绍
1 设备概况
1.1 应用领域
单片清洗甩干机属于高洁净度清洗干燥设备，具备高速甩干、快速烘干、生产效率高等特点；可通过快速更换甩干头适配不同规格晶圆。主要应用于 2‑12 英寸半导体晶圆、掩膜板及各类基片的清洗干燥工艺，具备投入成本低、可快速接入产线生产的优势。
1.2 设备名称
单片清洗甩干机
1.3 设备型号
SG‑8‑12‑2D
2 主要结构特征
设备主要由伺服电机、PLC 控制器、人机界面、高洁净阀门、PFA 管路、氮气加热器、防腐蚀外壳、甩干头等部件组成。
设备壳体：采用进口 PP 板材质，满足洁净室使用环境要求。
驱动单元：配置专用中空伺服电机，转速范围 10‑4000rpm，可实现低速均匀清洗、高速离心甩干工艺。
控制系统：工业 PLC + 人机触摸屏，各部件控制稳定可靠，操作可视化。
电气标准：电气元器件选型符合 CE 认证要求。
气路配置：吹气前端配置过滤器，保障供气洁净度。
晶圆接触部位：采用 PEEK 材质。
晶圆防护：晶圆 3mm 排除区域允许接触，其余区域非接触式设计，避免水渍残留。
出厂测试：设备出厂前完成 48h 不间断马拉松运行测试，随机提供甩干碎片、滑片专项检测报告。
3 主要技术参数
表格
| 项目 | 性能指标参数 |
|---|---|
| 加工硅片尺寸 | 6‑12 英寸圆片（更换对应 CHUCK 甩干头） |
| 单次甩干数量 | 1 片 |
| 工位数量 | 1 个 |
| 空载旋转速度 | 10‑4000 R/Min |
| 甩干方式 | 离心甩干 |
| 吹气功能 | 双面吹气（正面 + 反面） |
| 氮气质量流量控制 | 2 路，分别控制正反两面 |
| 清洗甩干周期 | 开启吹气：90‑120s 完成彻底干燥 |
| 氮气工作压力 | 0.35‑0.4MPa，气管接口 φ6mm |
| CDA 工作压力 | 0.35‑0.4MPa，气管接口 φ6mm |
| 排水管接口 | 12mm 卡套接头 |
| 显示控制系统 | 7 寸触摸屏 + PLC 可编程控制器 |
| 挡水环升降 | 支持（材质 PP/PE） |
| 固定位置停止 | 支持 |
| 空片检测 | 支持，超声波位置检测 |
| 外控启动 | 支持 |
| 上位机程序控制 | 支持 |
| 管路材质 | PFA |
| 供电电源 | AC220V |
| 整机功率 | 1.5kW |
| 外形尺寸（长 × 宽 × 高） | 450mm × 490mm × 660mm |
所属分类：中国机械网 / 其他电子产品制造设备
| 法定代表人 | 黄桥 |
| 注册资本 | 300 |
| 主营产品 单晶炉,多晶炉,区熔炉,SEMITOOL甩干机,晶片检测强光灯 | |
| 经营范围 一般项目：半导体器件专用设备制造；集成电路制造；光伏设备及元器件制造；工业自动控制系统装置制造；电子元器件制造；电子测量仪器制造；机械电气设备制造；五金产品制造；塑料制品制造；集成电路芯片及产品销售；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；工业控制计算机及系统销售；电子专用设备销售；电力电子元器件销售；工业设计服务；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口；进出口代理；五金产品研发；专用设备修理；工业机器人安装、维修。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | |
| 公司简介 河北中科微电子有限公司是一家高科技港资公司，集半导体及芯片、微电子、新材料高端工艺设备的研发、生产、销售于一体，为中国芯片制造公司及各电子科技研究所提供交钥匙工程以及整体生产线改造升级解决方案。公司与美国、新加坡、韩国和日本等公司合作，在国外设有库房，囤有大量的半导体、微电子、新材料等行业专用设备及配件。公司汇聚了众多相关行业、领域的管理和技术人才，具有自主研发、设计和制造高端工艺设备的能力。长期 ... | |
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